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精密压力传感器及压力传感器精密加工技术

作为其他高科技实施的基础,精密加工精密加工技术的发展也促进了机械、液压、电子、半导体、光学、传感器、测量技术和材料科学的发展。一般来说,根据加工精度,机械加工可分为三个阶段:一般加工、精密加工和超精密加工。目前,精密加工是指1-0.1μm、Ra0.1-0.01μm的加工工艺,但这一极限随着加工工艺的进步而变化。今天的精密加工可能是明天的一般加工。

要解决的问题有:一是加工精度,包括形位公差、尺寸精度和表面状况;二是加工效率。有些加工可以达到较好的加工精度,但很难达到较高的加工效率。超精密加工是一种利用零件与刀具之间的相对运动,对超精密机床有严格限制,以获得极高形状精度和表面光洁度的微切削材料加工工艺。目前,超精密加工是指被加工零件尺寸精度大于0.1μm,表面粗糙度Ra小于0.025μm,机床定位精度分辨率和重复性大于0.01μm的加工技术,又称亚微米加工技术。钕正在向纳米级加工技术发展。超精密加工包括微加工、超微加工、精加工、终加工等加工技术。目前,技术压力变送器以及压力传感器也在逐步朝着更高精度的制造方向发展。
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